홀로그램 & 마이크로 나노 패터닝을 위한 리소그래피 장치
5 모션 축이 있는 SLM기술(공간 광 변조기)을 가진 레이저 패턴 생성기 또는 직접 쓰기 시스템으로서 직사각형 아래의 평면
또는 곡선 표면에 정밀 마이크로 패턴, 그레이스케일 석판화를 제작하도록 설계되어 최소 스폿은 마이크로 구조 장치의 빔
쉐이퍼가 있는 2진 구조의 노출 위상 레벨에 대한 하위 파장 이하로 달성할 수 있으며 SLM기술은 레이저 빔과 전자빔 같은
고해상도를 결합해 확장할 수 있는 강력한 마이크로 패턴 생성기를 만들어 마이크로 광학 장치, 마스크, CGH, 빔 셰이퍼,
디플렉티브 또는 굴절 렌즈 및 렌즈 배열을 제작하는데 사용할 수 있습니다.